Страница 7 из 9
Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов
Добавлено: 10 июл 2017, 12:38
Q-starь
CybSys, видева пока посмотреть не могу, но если есть катодное пятно - какой нафик тлеющий разряд , тёмное пространство должно быть явно видно.
Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов
Добавлено: 10 июл 2017, 13:33
CybSys
а какой же тогда по вашему там разряд?
Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов
Добавлено: 10 июл 2017, 19:18
Q-starь
CybSys, посмотрел кино.
Первая серия: этот шланчик - полная фигня, ещё и чо за соединение ( парнаграфия! ) там посередине! Диаметр шланга должен быть таким же как условный проход насоса, т.е. в вашем случае миллимов 25, не меньше ( судя по кину ), а длина ево должна быть минимальной, тем более что у вас дефицит по вакууму.
Остальные серии к магнетрону отношения не имеют. Магнитное поле у вас ваще не туда светит, разряд горит где угодно, только не там где нужно. Поищите на трубе всякие видвы про это - там должен быть явно выраженный "бублик" над мишенью, а у вас он где угодно. Всё вокруг горит ясным пламенем - неправильно это - нужен экран, и анода я чёт не увидел. Короче дайте ему току поболе, амперов 40, и будет у вас полноценный дуговой катодный узел. Книжку скачай - Минайчев " Магнетронные распылительные системы" что ли, если правильно помню, там доступно и с картинками.
Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов
Добавлено: 10 июл 2017, 22:45
CybSys
Спасибо за ответы!
Условный диаметр прохода насоса 5мм, а у шланга 6мм. Если мы конечно об одном и том же проходе. Длину шланга пока не могу укоротить…
Кусок трубки соединяющий два шланга, для быстрого разъединения и напуска воздуха, так как кран пропускает и я его исключил из системы.
Про ярко выраженный бублик мне известно, но вот из-за красного колпака плазму плохо видно.
Анод- это алюминиевое кольцо над магнетроном.
Про экран согласен, ну или надо анод сделать по другому.
Теперь что касается разрядов: то, что вы предлагаете (40А) – это дуговой разряд и в таком случае получится не совсем магнетронное распыление, а термическое, а я хотел бы добиться все таки магнетронного, да и ток моего разряда 100-250мА.
Вот еще что мне удалось выяснить, и мало кто об этом подсказал/додумался: так как корпус магнетрона выполнен из немагнитной нержавейки, то под магнит необходимо положить железный шунт (железную пластину) для замыкания силовых линий магнита. Но это мне еще предстоит проверить…
Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов
Добавлено: 10 июл 2017, 22:50
aftaev
CybSys писал(а):Условный диаметр прохода насоса 5мм, а у шланга 6мм.
А ты барашек открути на насосе, сними быстросъемный фланец и посмотри какой у насоса входной диаметр под ним

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов
Добавлено: 11 июл 2017, 07:31
Q-starь
CybSys писал(а):
Условный диаметр прохода насоса 5мм, а у шланга 6мм. Если мы конечно об одном и том же проходе. Длину шланга пока не могу укоротить…
Кусок трубки соединяющий два шланга, для быстрого разъединения и напуска воздуха, так как кран пропускает и я его исключил из системы.
Ненененене, условный проход это диаметр входной дырки самого насоса, вы всю хрень быстроразьёмную уберите нафик - это понты, да и фоту бы посмотреть этой дырки. Чо за насос то хоть?
Укоротить шланг надо по любому , хоть установку переставить, хоть насос. У вас насос маленький, литра 3, для ваших задач длина шланчика хотелась бы сантиметров 20, а то и меньше. Почему нет хомутов на соединениях? Там стопудово течёт! Хотя бы ПВХ изолентой с натягом перемотайте витков 15-20.
Это "типа быстроразъёмное соединение" посередине шланга необходимо ликвидировать как класс - там тоже кругом дыры. Для напуска воздуха кран надо ставить отдельно, простой водопроводный пойдёт, надо только правильно ставить.
Кран какой пробовали? После нужной доработки пойдёт шаровый с ДУ больше вашего условного прохода. Насос от откачиваемого объёма отсекать надо обязательно, иначе будете постоянно иметь масло в камере ( от слова "всё сколько имеется в насосе")
CybSys писал(а):
Анод- это алюминиевое кольцо над магнетроном.
Про экран согласен, ну или надо анод сделать по другому.
Пардон , посмотрел только первые две серии кина, анод потом увидел. Я бы сделал по другому, но для опытов и так сойдёт.
CybSys писал(а):
Теперь что касается разрядов: то, что вы предлагаете (40А) – это дуговой разряд и в таком случае получится не совсем магнетронное распыление, а термическое, а я хотел бы добиться все таки магнетронного,
Дуговое испарение и термическое - совсем две разные песни. Термического у вас там близко быть не может ( в чистом виде ) поскольку это испарение навески с разогретой спирали или лодочки, например вольфрамовой. В частности для вашего люминя это от температуры выше 1000 С при хорошем вакууме. Для первоначальных опытов я бы именно этот метод и посоветовал как самый простой для понимания процесса. Да и организовать всю испарительную приблуду проще.
CybSys писал(а):
под магнит необходимо положить железный шунт (железную пластину) для замыкания силовых линий магнита. Но это мне еще предстоит проверить…
С этого и стоило начинать - железяку обязательно надо положить без всяких проверок. Хотя бы Ст3 толщины в 3 мм должно хватить. Поэтому у вас магнетрон и дует во все стороны кроме той которой нужно. Нержа конечно не лучший материал для магнетрона, ну коли уж сделано, будем терпеть, только могут быть неприятные супрызы.
Вдогонку: жаль камера маловата, а то можно было ённо-геттерный или магниторазрядный насосик воткнуть - было бы уже подобие настоящей установки.
Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов
Добавлено: 14 авг 2017, 15:50
CybSys
Всем привет...
Добрался я до модуля АЦП.
https://www.youtube.com/watch?v=Z_iJZMrTVYw
Сегодня даже подключали к лампе ПМТ-2... видео будет чуть позже...
что касается установки то вскоре тоже расскажу что да как...
Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов
Добавлено: 14 авг 2017, 19:17
CybSys
Испытание в лаборатории )
Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов
Добавлено: 15 авг 2017, 22:00
CybSys
Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов
Добавлено: 15 авг 2017, 22:10
aftaev
Давление по какой формуле рассчитывается?
Так понимаю прибор не откалиброван и показывает давление в папугаях?
ЭДС термопары не совсем прямолинейная.
Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов
Добавлено: 15 авг 2017, 22:24
CybSys
Известно что зависимость не линейна, поэтому, Зависимость от цифровали, потом про экспонировали и получилась формула (это в двух словах), помогли умные люди разбирающиеся в высшей математике.
Прошивку надо еще под рихтовать, а в остальном вроде все работает.
Давление показывает в мм.рт.ст.
Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов
Добавлено: 15 авг 2017, 22:33
aftaev
CybSys писал(а):Зависимость от цифровали, потом про экспонировали и получилась формула (это в двух словах), помогли умные люди разбирающиеся в высшей математике.
Это на ардуине? Скетч выложи, если не секретный он.
Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов
Добавлено: 15 авг 2017, 22:41
aftaev
Это что за фиговины на фото
Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов
Добавлено: 15 авг 2017, 23:10
CybSys
У нас есть вот такая зависимость:
(вы ее видели не раз, я думаю)
У нас по таким как раз определяют давление в в реакторах...
Далее этот график перенесли в Origin, а дальше уже дело техники...
Скетч, не секретный, но вот формулу пока жалко... (
*********************************************
что касается фото: так как на этих установках не работаю, то точно все уже не помню, но если память не изменяет, то с правой стороны расположен постоянный магнит для омегатронной лампы датчик - масспектрометра, а по левой стрелочки тоже масспектрометр но только уже дипольный времяпролетный.
Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов
Добавлено: 16 авг 2017, 09:41
CybSys
Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов
Добавлено: 03 сен 2017, 14:11
CybSys
aftaev писал(а):Это на ардуине? Скетч выложи, если не секретный он.
После недавнего отдыха пересмотрел уровень секретности...
Да, на ардуине. Формула по которой рассчитывается давление:
Код: Выделить всё
float voltage = (adc0 * (0.256/32767.5))*1000;
float pres = 2.217*exp(-voltage/0.3134)+0.175*exp(-voltage/1.97)+543.59*exp(-voltage/211689.45)+(-543.57);
(орден за реализацию измерителя не дадите? медаль не прошу

)
Что касается дальнейшей реализации моего проекта, то хочу выкинуть из нутра установки насос, все равно его производительности не хватает и места много занимает, вместо него встанет система охлаждения магнетрона (радиатор с кулером и помпа, возможно что еще небольшой герметичный объем с охлаждающей жидкостью). Шланги хочу заменить на нормальные вакуумные армированные (они не дорогие). Конечно же надо встроить систему измерения вакуума с лампой (хотя бы той же ПМТ-2). И наверное самое сложное: реализация нормального основания (оно сейчас у меня тексталитовое) и магнетрона, хочу реализовать все это из алюминия, так как сопрягаемая плоскость основания с колпаком должна быть шлифованной (с текстолитом так не получится), а магнетрон все равно переделывать - не хочу заморачиваться с нержавейкой и сделать все из дюрали на ЧПУ портальном станке, который тоже собираем, тема в соседней ветке. Так же хочу выкинуть белый диск с ЛАТРа и вместо него поставить привод, ШД например, и управлять потенциометром с приборной панели...
Во всем этом конечно есть нюансы, но о них буду думать когда до этого дойдет дело.
Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов
Добавлено: 03 сен 2017, 16:33
aftaev
CybSys писал(а):(орден за реализацию измерителя не дадите? медаль не прошу )
Ордены даются за полностью рабочий код
Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов
Добавлено: 03 сен 2017, 16:55
CybSys
Так пожалуйста весь код :
(просто думал что каждый по своему может описать алгоритм)
Код: Выделить всё
#include "HX711.h"
#include <LiquidCrystal.h>
#include <EEPROM.h>
#include <Wire.h>
#include <Adafruit_ADS1015.h>
Adafruit_ADS1115 ads;
LiquidCrystal lcd(8, 9, 4, 5, 6, 7);
HX711 cell(2, 3);
long val = 0;
long zero = 0;
int V = 0;
int F = 0;
int Time = 100;
void setup() {
lcd.begin(16, 2);
Serial.begin(9600);
zero = cell.read();
lcd.setCursor(0,0);
lcd.print("CybSys presents");
lcd.setCursor(0,1);
lcd.print("Press:Down or Up");
// ads.setGain(GAIN_TWOTHIRDS); // 2/3x gain +/- 6.144V 1 bit = 3mV 0.1875mV (default)
// ads.setGain(GAIN_ONE); // 1x gain +/- 4.096V 1 bit = 2mV 0.125mV
//ads.setGain(GAIN_TWO); // 2x gain +/- 2.048V 1 bit = 1mV 0.0625mV
// ads.setGain(GAIN_FOUR); // 4x gain +/- 1.024V 1 bit = 0.5mV 0.03125mV
//ads.setGain(GAIN_EIGHT); // 8x gain +/- 0.512V 1 bit = 0.25mV 0.015625mV
ads.setGain(GAIN_SIXTEEN); // 16x gain +/- 0.256V 1 bit = 0.125mV 0.0078125mV
ads.begin();
}
void loop() {
int16_t adc0;
int x = analogRead (0);
if (F==1){
lcd.setCursor(0,1);
lcd.print("Force:");
val = (cell.read()-zero)*50/90000;
lcd.setCursor(6,1);
lcd.print(" ");
lcd.setCursor(7,1);
lcd.print(val);
Serial.print("Code: ");
Serial.println(cell.read());
Serial.print("Mass(gr): ");
Serial.println(val);
lcd.setCursor(13,1);
lcd.print("gr.");
if (x < 800 && x > 600){
zero = cell.read();
}
}
//****************************************
if (V==1){
/*lcd.setCursor(5,1);
lcd.print(" ");
lcd.setCursor(3,0);
lcd.print(" ");*/
lcd.setCursor(0,0);
lcd.print("Press: ");
lcd.setCursor(0,1);
lcd.print("Vol:");
adc0 = ads.readADC_SingleEnded(0);
float voltage = (adc0 * (0.256/32767.5))*1000;
float pres = 2.217*exp(-voltage/0.3134)+0.175*exp(-voltage/1.97)+543.59*exp(-voltage/211689.45)+(-543.57);
lcd.setCursor(7,0);
lcd.print(pres,5);
lcd.setCursor(5,1);
lcd.print (voltage,5);
Serial.print("Vol:");
Serial.println(voltage, 5);
}
//****************************************
if (x < 400 && x >= 200){ //down
V = 1;
F = 0;
Time = 500;
lcd.clear();
}
if (x < 200 && x > 20){ //Up
V = 0;
F = 1;
Time = 100;
lcd.clear();
}
delay(Time);
}
Могу еще скетч прикрепить если надо.
Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов
Добавлено: 03 сен 2017, 21:48
CybSys
Спасибо!
Тут на чипмейкере посоветовали применить датчик ПМТ-6-3, якобы он лучше (долгевечней, диапазон больше, может еще что-то), но принцип работы у него отличается от ламп ПМТ-2 и ей подобных.
Как я понял датчик работает на основе терморезисторного моста, в таком случае его так же можно подключить к ардуино, и измерять не ток, а сопротивление.
Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов
Добавлено: 03 сен 2017, 21:58
aftaev
CybSys писал(а):Как я понял датчик работает на основе терморезисторного моста
То что у нас вакуумметр, у него нить нагрева и термопара. И нужно измерять не сопротивление, а ЭДС как обычной термопары.