Установка магнетронного напыления пленок металлов

Намоточные, сверлильные, электроэррозионные и другие станки с ЧПУ.

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Сообщение Q-starь » 10 июл 2017, 12:38

CybSys, видева пока посмотреть не могу, но если есть катодное пятно - какой нафик тлеющий разряд , тёмное пространство должно быть явно видно.
Винтовка, жена и ложка - оружие строго индивидуальное!
Изображение
Аватара пользователя
Q-starь
Мастер
 
Сообщения: 427
Зарегистрирован: 04 апр 2011, 16:50
Откуда: Казахстан
Репутация: 446
Настоящее имя: Гэн

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Сообщение CybSys » 10 июл 2017, 13:33

а какой же тогда по вашему там разряд?
Аватара пользователя
CybSys
Мастер
 
Сообщения: 283
Зарегистрирован: 07 июн 2013, 10:02
Репутация: 71
Медальки:

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Сообщение Q-starь » 10 июл 2017, 19:18

CybSys, посмотрел кино.
Первая серия: этот шланчик - полная фигня, ещё и чо за соединение ( парнаграфия! ) там посередине! Диаметр шланга должен быть таким же как условный проход насоса, т.е. в вашем случае миллимов 25, не меньше ( судя по кину ), а длина ево должна быть минимальной, тем более что у вас дефицит по вакууму.
Остальные серии к магнетрону отношения не имеют. Магнитное поле у вас ваще не туда светит, разряд горит где угодно, только не там где нужно. Поищите на трубе всякие видвы про это - там должен быть явно выраженный "бублик" над мишенью, а у вас он где угодно. Всё вокруг горит ясным пламенем - неправильно это - нужен экран, и анода я чёт не увидел. Короче дайте ему току поболе, амперов 40, и будет у вас полноценный дуговой катодный узел. Книжку скачай - Минайчев " Магнетронные распылительные системы" что ли, если правильно помню, там доступно и с картинками.
Винтовка, жена и ложка - оружие строго индивидуальное!
Изображение
Аватара пользователя
Q-starь
Мастер
 
Сообщения: 427
Зарегистрирован: 04 апр 2011, 16:50
Откуда: Казахстан
Репутация: 446
Настоящее имя: Гэн

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Сообщение CybSys » 10 июл 2017, 22:45

Спасибо за ответы!
Условный диаметр прохода насоса 5мм, а у шланга 6мм. Если мы конечно об одном и том же проходе. Длину шланга пока не могу укоротить…
Кусок трубки соединяющий два шланга, для быстрого разъединения и напуска воздуха, так как кран пропускает и я его исключил из системы.
Про ярко выраженный бублик мне известно, но вот из-за красного колпака плазму плохо видно.
Анод- это алюминиевое кольцо над магнетроном.
Про экран согласен, ну или надо анод сделать по другому.
Теперь что касается разрядов: то, что вы предлагаете (40А) – это дуговой разряд и в таком случае получится не совсем магнетронное распыление, а термическое, а я хотел бы добиться все таки магнетронного, да и ток моего разряда 100-250мА.

Вот еще что мне удалось выяснить, и мало кто об этом подсказал/додумался: так как корпус магнетрона выполнен из немагнитной нержавейки, то под магнит необходимо положить железный шунт (железную пластину) для замыкания силовых линий магнита. Но это мне еще предстоит проверить…
Аватара пользователя
CybSys
Мастер
 
Сообщения: 283
Зарегистрирован: 07 июн 2013, 10:02
Репутация: 71
Медальки:

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Сообщение aftaev » 10 июл 2017, 22:50

CybSys писал(а):Условный диаметр прохода насоса 5мм, а у шланга 6мм.

А ты барашек открути на насосе, сними быстросъемный фланец и посмотри какой у насоса входной диаметр под ним :)
Дилетанту сложные вещи кажутся очень простыми, и только профессионал понимает насколько сложна самая простая вещь
Кто хочет - ищет возможности, кто не хочет - ищет оправдание.
Найди работу по душе и тебе не придется работать.
aftaev
Зачётный участник
Зачётный участник
 
Сообщения: 28849
Зарегистрирован: 04 апр 2010, 19:22
Откуда: Казахстан. Шымкент
Репутация: 4930
Медальки:

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Сообщение Q-starь » 11 июл 2017, 07:31

CybSys писал(а):Условный диаметр прохода насоса 5мм, а у шланга 6мм. Если мы конечно об одном и том же проходе. Длину шланга пока не могу укоротить…
Кусок трубки соединяющий два шланга, для быстрого разъединения и напуска воздуха, так как кран пропускает и я его исключил из системы.

Ненененене, условный проход это диаметр входной дырки самого насоса, вы всю хрень быстроразьёмную уберите нафик - это понты, да и фоту бы посмотреть этой дырки. Чо за насос то хоть?
Укоротить шланг надо по любому , хоть установку переставить, хоть насос. У вас насос маленький, литра 3, для ваших задач длина шланчика хотелась бы сантиметров 20, а то и меньше. Почему нет хомутов на соединениях? Там стопудово течёт! Хотя бы ПВХ изолентой с натягом перемотайте витков 15-20.
Это "типа быстроразъёмное соединение" посередине шланга необходимо ликвидировать как класс - там тоже кругом дыры. Для напуска воздуха кран надо ставить отдельно, простой водопроводный пойдёт, надо только правильно ставить.
Кран какой пробовали? После нужной доработки пойдёт шаровый с ДУ больше вашего условного прохода. Насос от откачиваемого объёма отсекать надо обязательно, иначе будете постоянно иметь масло в камере ( от слова "всё сколько имеется в насосе")

CybSys писал(а):Анод- это алюминиевое кольцо над магнетроном.
Про экран согласен, ну или надо анод сделать по другому.

Пардон , посмотрел только первые две серии кина, анод потом увидел. Я бы сделал по другому, но для опытов и так сойдёт.

CybSys писал(а):Теперь что касается разрядов: то, что вы предлагаете (40А) – это дуговой разряд и в таком случае получится не совсем магнетронное распыление, а термическое, а я хотел бы добиться все таки магнетронного,

Дуговое испарение и термическое - совсем две разные песни. Термического у вас там близко быть не может ( в чистом виде ) поскольку это испарение навески с разогретой спирали или лодочки, например вольфрамовой. В частности для вашего люминя это от температуры выше 1000 С при хорошем вакууме. Для первоначальных опытов я бы именно этот метод и посоветовал как самый простой для понимания процесса. Да и организовать всю испарительную приблуду проще.

CybSys писал(а):под магнит необходимо положить железный шунт (железную пластину) для замыкания силовых линий магнита. Но это мне еще предстоит проверить…

С этого и стоило начинать - железяку обязательно надо положить без всяких проверок. Хотя бы Ст3 толщины в 3 мм должно хватить. Поэтому у вас магнетрон и дует во все стороны кроме той которой нужно. Нержа конечно не лучший материал для магнетрона, ну коли уж сделано, будем терпеть, только могут быть неприятные супрызы.

Вдогонку: жаль камера маловата, а то можно было ённо-геттерный или магниторазрядный насосик воткнуть - было бы уже подобие настоящей установки.
Винтовка, жена и ложка - оружие строго индивидуальное!
Изображение
Аватара пользователя
Q-starь
Мастер
 
Сообщения: 427
Зарегистрирован: 04 апр 2011, 16:50
Откуда: Казахстан
Репутация: 446
Настоящее имя: Гэн

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Сообщение CybSys » 14 авг 2017, 15:50

Всем привет...
Добрался я до модуля АЦП.

Сегодня даже подключали к лампе ПМТ-2... видео будет чуть позже...
что касается установки то вскоре тоже расскажу что да как...
Аватара пользователя
CybSys
Мастер
 
Сообщения: 283
Зарегистрирован: 07 июн 2013, 10:02
Репутация: 71
Медальки:

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Сообщение CybSys » 14 авг 2017, 19:17

Испытание в лаборатории )
Вложения
Установка магнетронного напыления пленок металлов IMG_4274.JPG
Аватара пользователя
CybSys
Мастер
 
Сообщения: 283
Зарегистрирован: 07 июн 2013, 10:02
Репутация: 71
Медальки:

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Сообщение CybSys » 15 авг 2017, 22:00

А вот и практические испытания ...

Аватара пользователя
CybSys
Мастер
 
Сообщения: 283
Зарегистрирован: 07 июн 2013, 10:02
Репутация: 71
Медальки:

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Сообщение aftaev » 15 авг 2017, 22:10

Давление по какой формуле рассчитывается?
Так понимаю прибор не откалиброван и показывает давление в папугаях?
ЭДС термопары не совсем прямолинейная.
Дилетанту сложные вещи кажутся очень простыми, и только профессионал понимает насколько сложна самая простая вещь
Кто хочет - ищет возможности, кто не хочет - ищет оправдание.
Найди работу по душе и тебе не придется работать.
aftaev
Зачётный участник
Зачётный участник
 
Сообщения: 28849
Зарегистрирован: 04 апр 2010, 19:22
Откуда: Казахстан. Шымкент
Репутация: 4930
Медальки:

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Сообщение CybSys » 15 авг 2017, 22:24

Известно что зависимость не линейна, поэтому, Зависимость от цифровали, потом про экспонировали и получилась формула (это в двух словах), помогли умные люди разбирающиеся в высшей математике.
Прошивку надо еще под рихтовать, а в остальном вроде все работает.
Давление показывает в мм.рт.ст.
Аватара пользователя
CybSys
Мастер
 
Сообщения: 283
Зарегистрирован: 07 июн 2013, 10:02
Репутация: 71
Медальки:

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Сообщение aftaev » 15 авг 2017, 22:33

CybSys писал(а):Зависимость от цифровали, потом про экспонировали и получилась формула (это в двух словах), помогли умные люди разбирающиеся в высшей математике.

Это на ардуине? Скетч выложи, если не секретный он.
Дилетанту сложные вещи кажутся очень простыми, и только профессионал понимает насколько сложна самая простая вещь
Кто хочет - ищет возможности, кто не хочет - ищет оправдание.
Найди работу по душе и тебе не придется работать.
aftaev
Зачётный участник
Зачётный участник
 
Сообщения: 28849
Зарегистрирован: 04 апр 2010, 19:22
Откуда: Казахстан. Шымкент
Репутация: 4930
Медальки:

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Сообщение aftaev » 15 авг 2017, 22:41

Это что за фиговины на фото :thinking:
Установка магнетронного напыления пленок металлов IMG_4274.JPG
Дилетанту сложные вещи кажутся очень простыми, и только профессионал понимает насколько сложна самая простая вещь
Кто хочет - ищет возможности, кто не хочет - ищет оправдание.
Найди работу по душе и тебе не придется работать.
aftaev
Зачётный участник
Зачётный участник
 
Сообщения: 28849
Зарегистрирован: 04 апр 2010, 19:22
Откуда: Казахстан. Шымкент
Репутация: 4930
Медальки:

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Сообщение CybSys » 15 авг 2017, 23:10

У нас есть вот такая зависимость:
Установка магнетронного напыления пленок металлов grad-pmt-2.jpg

(вы ее видели не раз, я думаю)
У нас по таким как раз определяют давление в в реакторах...
Далее этот график перенесли в Origin, а дальше уже дело техники...

Скетч, не секретный, но вот формулу пока жалко... (
*********************************************
что касается фото: так как на этих установках не работаю, то точно все уже не помню, но если память не изменяет, то с правой стороны расположен постоянный магнит для омегатронной лампы датчик - масспектрометра, а по левой стрелочки тоже масспектрометр но только уже дипольный времяпролетный.
Аватара пользователя
CybSys
Мастер
 
Сообщения: 283
Зарегистрирован: 07 июн 2013, 10:02
Репутация: 71
Медальки:

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Сообщение CybSys » 16 авг 2017, 09:41

Чтобы установка не пылилась ее протирает мой волосатый друг "Виски". :hehehe: :hehehe: :hehehe:
Вложения
Установка магнетронного напыления пленок металлов IMG_4290.JPG
Аватара пользователя
CybSys
Мастер
 
Сообщения: 283
Зарегистрирован: 07 июн 2013, 10:02
Репутация: 71
Медальки:

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Сообщение CybSys » 03 сен 2017, 14:11

aftaev писал(а):Это на ардуине? Скетч выложи, если не секретный он.

После недавнего отдыха пересмотрел уровень секретности...
Да, на ардуине. Формула по которой рассчитывается давление:
Код: Выделить всёРазвернуть
float voltage = (adc0 * (0.256/32767.5))*1000;
float pres = 2.217*exp(-voltage/0.3134)+0.175*exp(-voltage/1.97)+543.59*exp(-voltage/211689.45)+(-543.57);
(орден за реализацию измерителя не дадите? медаль не прошу :) )

Что касается дальнейшей реализации моего проекта, то хочу выкинуть из нутра установки насос, все равно его производительности не хватает и места много занимает, вместо него встанет система охлаждения магнетрона (радиатор с кулером и помпа, возможно что еще небольшой герметичный объем с охлаждающей жидкостью). Шланги хочу заменить на нормальные вакуумные армированные (они не дорогие). Конечно же надо встроить систему измерения вакуума с лампой (хотя бы той же ПМТ-2). И наверное самое сложное: реализация нормального основания (оно сейчас у меня тексталитовое) и магнетрона, хочу реализовать все это из алюминия, так как сопрягаемая плоскость основания с колпаком должна быть шлифованной (с текстолитом так не получится), а магнетрон все равно переделывать - не хочу заморачиваться с нержавейкой и сделать все из дюрали на ЧПУ портальном станке, который тоже собираем, тема в соседней ветке. Так же хочу выкинуть белый диск с ЛАТРа и вместо него поставить привод, ШД например, и управлять потенциометром с приборной панели...
Во всем этом конечно есть нюансы, но о них буду думать когда до этого дойдет дело.
Аватара пользователя
CybSys
Мастер
 
Сообщения: 283
Зарегистрирован: 07 июн 2013, 10:02
Репутация: 71
Медальки:

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Сообщение aftaev » 03 сен 2017, 16:33

CybSys писал(а):(орден за реализацию измерителя не дадите? медаль не прошу )

Ордены даются за полностью рабочий код
Дилетанту сложные вещи кажутся очень простыми, и только профессионал понимает насколько сложна самая простая вещь
Кто хочет - ищет возможности, кто не хочет - ищет оправдание.
Найди работу по душе и тебе не придется работать.
aftaev
Зачётный участник
Зачётный участник
 
Сообщения: 28849
Зарегистрирован: 04 апр 2010, 19:22
Откуда: Казахстан. Шымкент
Репутация: 4930
Медальки:

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Сообщение CybSys » 03 сен 2017, 16:55

Так пожалуйста весь код :
(просто думал что каждый по своему может описать алгоритм)

Код: Выделить всёРазвернуть
#include "HX711.h"
#include <LiquidCrystal.h>
#include <EEPROM.h>
#include <Wire.h>
#include <Adafruit_ADS1015.h>

Adafruit_ADS1115 ads;
LiquidCrystal lcd(8, 9, 4, 5, 6, 7);
HX711 cell(2, 3);


long val = 0;
long zero = 0;

int V = 0;
int F = 0;
int Time = 100; 
       
void setup() {
  lcd.begin(16, 2);
  Serial.begin(9600);
  zero = cell.read();
  lcd.setCursor(0,0);
  lcd.print("CybSys presents");
  lcd.setCursor(0,1);
  lcd.print("Press:Down or Up");
 
  // ads.setGain(GAIN_TWOTHIRDS);  // 2/3x gain +/- 6.144V  1 bit = 3mV      0.1875mV (default)
  // ads.setGain(GAIN_ONE);        // 1x gain   +/- 4.096V  1 bit = 2mV      0.125mV
  //ads.setGain(GAIN_TWO);        // 2x gain   +/- 2.048V  1 bit = 1mV      0.0625mV
  // ads.setGain(GAIN_FOUR);       // 4x gain   +/- 1.024V  1 bit = 0.5mV    0.03125mV
  //ads.setGain(GAIN_EIGHT);      // 8x gain   +/- 0.512V  1 bit = 0.25mV   0.015625mV
   ads.setGain(GAIN_SIXTEEN);    // 16x gain  +/- 0.256V  1 bit = 0.125mV  0.0078125mV
 
  ads.begin();
}

void loop() {
 
  int16_t  adc0;
   
  int x = analogRead (0);

  if (F==1){
  lcd.setCursor(0,1);
  lcd.print("Force:");
 
  val = (cell.read()-zero)*50/90000;
  lcd.setCursor(6,1);
  lcd.print("       ");
  lcd.setCursor(7,1);
  lcd.print(val);
  Serial.print("Code: ");
  Serial.println(cell.read());
  Serial.print("Mass(gr): ");
  Serial.println(val);
  lcd.setCursor(13,1);
  lcd.print("gr.");

  if (x < 800 && x > 600){
   zero = cell.read();
    }
  }
//****************************************
if (V==1){
/*lcd.setCursor(5,1);
lcd.print("           ");
lcd.setCursor(3,0);
lcd.print("           ");*/
  lcd.setCursor(0,0);
  lcd.print("Press: ");
  lcd.setCursor(0,1);
  lcd.print("Vol:");
  adc0 = ads.readADC_SingleEnded(0);
  float voltage = (adc0 * (0.256/32767.5))*1000;
  float pres = 2.217*exp(-voltage/0.3134)+0.175*exp(-voltage/1.97)+543.59*exp(-voltage/211689.45)+(-543.57);
  lcd.setCursor(7,0);
  lcd.print(pres,5);
  lcd.setCursor(5,1);
  lcd.print (voltage,5);
  Serial.print("Vol:");
  Serial.println(voltage, 5);
}

//****************************************
  if (x < 400 && x >= 200){ //down
       V = 1;
       F = 0;
       Time = 500;
        lcd.clear();
      }
  if (x < 200 && x > 20){ //Up
       V = 0;
       F = 1;
       Time = 100;
       lcd.clear();
      }
     
  delay(Time);
}


Могу еще скетч прикрепить если надо.
Аватара пользователя
CybSys
Мастер
 
Сообщения: 283
Зарегистрирован: 07 июн 2013, 10:02
Репутация: 71
Медальки:

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Сообщение CybSys » 03 сен 2017, 21:48

Спасибо!

Тут на чипмейкере посоветовали применить датчик ПМТ-6-3, якобы он лучше (долгевечней, диапазон больше, может еще что-то), но принцип работы у него отличается от ламп ПМТ-2 и ей подобных.
Как я понял датчик работает на основе терморезисторного моста, в таком случае его так же можно подключить к ардуино, и измерять не ток, а сопротивление.
Вложения
Манометрические преобразователи.doc
не плохая лаба по датчикам
(774.5 Кб) Скачиваний: 278
Аватара пользователя
CybSys
Мастер
 
Сообщения: 283
Зарегистрирован: 07 июн 2013, 10:02
Репутация: 71
Медальки:

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Сообщение aftaev » 03 сен 2017, 21:58

CybSys писал(а):Как я понял датчик работает на основе терморезисторного моста

То что у нас вакуумметр, у него нить нагрева и термопара. И нужно измерять не сопротивление, а ЭДС как обычной термопары.
Установка магнетронного напыления пленок металлов 01.png
Дилетанту сложные вещи кажутся очень простыми, и только профессионал понимает насколько сложна самая простая вещь
Кто хочет - ищет возможности, кто не хочет - ищет оправдание.
Найди работу по душе и тебе не придется работать.
aftaev
Зачётный участник
Зачётный участник
 
Сообщения: 28849
Зарегистрирован: 04 апр 2010, 19:22
Откуда: Казахстан. Шымкент
Репутация: 4930
Медальки:

Пред.След.

Вернуться в Прочие станки

Кто сейчас на конференции

Зарегистрированные пользователи: 71taa, aftaev, arvalig, baha1070, Bing [Bot], Сергей Саныч, daemon78, Dima77, Dimka_almighty, Enot_1, Evgen91, frezeryga, Google [Bot], keen, Kiriller, lbvfy523, Majestic-12 [Bot], Mamont, MGG, mikehv, Morze, ned, NikolayUa24, petuchov, seet46, SeReGa Sh, sergay, sima8520, sn0wflake, Stich, stiks, Taganrog, TheDreamer, torokh, UAVpilot, unior71, Yandex [bot], ДмитрийП, шпиндель

Поделиться

Reputation System ©'