Установка магнетронного напыления пленок металлов

Намоточные, сверлильные, электроэррозионные и другие станки с ЧПУ.

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Сообщение aftaev » 03 сен 2017, 22:01

Сейчас получили готовый такой прибор. У него двойной сенсор.
https://www.youtube.com/watch?v=hrZwKTwS9cs
Дилетанту сложные вещи кажутся очень простыми, и только профессионал понимает насколько сложна самая простая вещь
Кто хочет - ищет возможности, кто не хочет - ищет оправдание.
Найди работу по душе и тебе не придется работать.
aftaev
Зачётный участник
Зачётный участник
 
Сообщения: 25973
Зарегистрирован: 04 апр 2010, 19:22
Откуда: Казахстан. Шымкент
Репутация: 3941
Медальки:

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Сообщение CybSys » 03 сен 2017, 22:34

Двойной сенсор - это как? А то из видео мало что понял. Цифры прибор показывает не многим лучше моего кривенького прибора на ардуино, и то надо прошивку допилить...
Аватара пользователя
CybSys
Мастер
 
Сообщения: 223
Зарегистрирован: 07 июн 2013, 10:02
Репутация: 47
Медальки:

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Сообщение aftaev » 03 сен 2017, 22:55

Вакуум измерять одним прибором, это как штангельциркулем измерять от микронов до километра. У каждого прибора свой диапазон.
Вот там два сенсора Пирани и пьезо. Каждый измеряет свой диапазон. Стр. 25 http://www.teledyne-hi.com/resourcecent ... Manual.pdf
То что ты собрал на Ардуино, это Пирани https://en.wikipedia.org/wiki/Pirani_gauge.

Есть такие датчики которые если включить на воздухе - они сдохнут. Потому вакуумметры включают их по очереди. Когда откачали атмосферу до заданного предела, вакуумметр включает другой сенсор и так ступеньками.
Дилетанту сложные вещи кажутся очень простыми, и только профессионал понимает насколько сложна самая простая вещь
Кто хочет - ищет возможности, кто не хочет - ищет оправдание.
Найди работу по душе и тебе не придется работать.
aftaev
Зачётный участник
Зачётный участник
 
Сообщения: 25973
Зарегистрирован: 04 апр 2010, 19:22
Откуда: Казахстан. Шымкент
Репутация: 3941
Медальки:

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Сообщение CybSys » 03 сен 2017, 23:38

аааа, ну понятно, до низкого вакуума измеряем например ПМТ-2, а средний уже другой лампой.
В принципе это припоминаю из из курса по Технике Высокого Вакуума (ТВВ) :)
Многих нюансов конечно же не помню...
Аватара пользователя
CybSys
Мастер
 
Сообщения: 223
Зарегистрирован: 07 июн 2013, 10:02
Репутация: 47
Медальки:

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Сообщение Q-starь » 04 сен 2017, 08:17

Ну чо нагородили та! Пирани - это как раз ПМТ-6-3 а ПМТ-2 ( 4 ) - это термопарный, а включать на атмосфере нельзя ПМИ-2 ( 51 ), хотя ПМИ-51 терпит деревянного оператора, который забывает отключить вакуумметр перед напуском атмосферы, правда не долго. Есть ещё ПМИ-10-2, но она для магнетрона бестолковая, штоли, короче , не прижилась у нас, да и фик их найдёшь.
Для победы важен не размер собаки в драке, а размер драки в собаке!
Изображение
Аватара пользователя
Q-starь
Опытный
 
Сообщения: 192
Зарегистрирован: 04 апр 2011, 16:50
Откуда: Казахстан
Репутация: 39
Настоящее имя: Евгений

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Сообщение CybSys » 11 сен 2017, 20:23

Вакуумметр оформил в статью:

https://geektimes.ru/post/292839/
Аватара пользователя
CybSys
Мастер
 
Сообщения: 223
Зарегистрирован: 07 июн 2013, 10:02
Репутация: 47
Медальки:

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Сообщение Q-starь » 12 сен 2017, 07:04

CybSys, из описалова не понял как лампу калибровали. Регулировать ток накала - это понятно, значение тока от келева взяли? У этого типа ламп разброс от 70 до 150 мА ( у меня на практике было от 90 до 130 это точно ) к тому же при старении лампы ток убегает и довольно сильно, я раз в полгода лампы перекалибровавал. Если на лампе с рабочим током в 90 поставить 130 - она реально будет килограммы показывать.
А за вакуумметр несомненный плюсик.
Для победы важен не размер собаки в драке, а размер драки в собаке!
Изображение
Аватара пользователя
Q-starь
Опытный
 
Сообщения: 192
Зарегистрирован: 04 апр 2011, 16:50
Откуда: Казахстан
Репутация: 39
Настоящее имя: Евгений

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Сообщение N1X » 12 сен 2017, 09:41

CybSys писал(а):Вакуумметр оформил в статью

Ксати, вот из статьи:
Так как регулятор при наименьшем своем значении напряжения давал сильно большое значение по току, то и пришлось использовать резистор.

А почему не нормальный источник тока?
N1X
Мастер
 
Сообщения: 2163
Зарегистрирован: 16 фев 2015, 21:19
Откуда: Беларусь, Гомель
Репутация: 1067
Настоящее имя: Владимир

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Сообщение CybSys » 13 сен 2017, 09:53

Q-starь писал(а):CybSys, из описалова не понял как лампу калибровали. Регулировать ток накала - это понятно, значение тока от келева взяли? У этого типа ламп разброс от 70 до 150 мА ( у меня на практике было от 90 до 130 это точно ) к тому же при старении лампы ток убегает и довольно сильно, я раз в полгода лампы перекалибровавал. Если на лампе с рабочим током в 90 поставить 130 - она реально будет килограммы показывать.
А за вакуумметр несомненный плюсик.


Спасибо!
Лампа ПМТ-2 достаточно грубый измеритель давления... Заточены под ВИТ. Калибруется в запаянном состоянии. Ток накала подбирается по шкале ВИТ - 100 делений - ток накала.
После лампа отпаивается (срезается, она как ампула), пииваривается в вакуумную систему.
Аватара пользователя
CybSys
Мастер
 
Сообщения: 223
Зарегистрирован: 07 июн 2013, 10:02
Репутация: 47
Медальки:

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Сообщение Q-starь » 13 сен 2017, 10:33

CybSys писал(а):Спасибо!
Лампа ПМТ-2 достаточно грубый измеритель давления... Заточены под ВИТ. Калибруется в запаянном состоянии. Ток накала подбирается по шкале ВИТ - 100 делений - ток накала.
После лампа отпаивается (срезается, она как ампула), пииваривается в вакуумную систему.

Паспортные 30% это для вакуума этих степеней не очень грубо, а вот то что она очень инерционная это большой минус, особенно в течеисканиях и аварийных ситуациях - пока оператор поймёт что что то происходит - уже тю-тю. Лично для меня Пирани предпочтительнее, это если ПМИ нет.
По калибровке - всё верно, опять же повторюсь - ПМТ сильно дрейфует от выработки и грязи, надо перекалибровывать.
Для победы важен не размер собаки в драке, а размер драки в собаке!
Изображение
Аватара пользователя
Q-starь
Опытный
 
Сообщения: 192
Зарегистрирован: 04 апр 2011, 16:50
Откуда: Казахстан
Репутация: 39
Настоящее имя: Евгений

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Сообщение aftaev » 13 сен 2017, 11:36

Q-starь, в Атырау есть вакуумные установки?
Дилетанту сложные вещи кажутся очень простыми, и только профессионал понимает насколько сложна самая простая вещь
Кто хочет - ищет возможности, кто не хочет - ищет оправдание.
Найди работу по душе и тебе не придется работать.
aftaev
Зачётный участник
Зачётный участник
 
Сообщения: 25973
Зарегистрирован: 04 апр 2010, 19:22
Откуда: Казахстан. Шымкент
Репутация: 3941
Медальки:

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Сообщение Q-starь » 13 сен 2017, 15:44

aftaev, а хто ево знает, я там ни разу не был.
Для победы важен не размер собаки в драке, а размер драки в собаке!
Изображение
Аватара пользователя
Q-starь
Опытный
 
Сообщения: 192
Зарегистрирован: 04 апр 2011, 16:50
Откуда: Казахстан
Репутация: 39
Настоящее имя: Евгений

Пред.

Вернуться в Прочие станки

Кто сейчас на конференции

Зарегистрированные пользователи: 3DPrinter, a-koba, atomichammer, Алексей85, Bing [Bot], Bodyfier, brocus, Сергей Саныч, CNC-Logic, dima7411, Dimka_almighty, Din, dost, Duhas, evgenyjp, exe, FL@gMan, frezeryga, Google [Bot], jb_arch, kstmkltr, Majestic-12 [Bot], NKS, rage, sazn86, selenur, sergay, tsurika, Valek811, vit_rus, X-Ray, Yahoo [Bot], Yandex [bot], Володя98rus

Поделиться

Reputation System ©'