Установка магнетронного напыления пленок металлов

Намоточные, сверлильные, электроэррозионные и другие станки с ЧПУ.

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Сообщение aftaev » 03 сен 2017, 22:01

Сейчас получили готовый такой прибор. У него двойной сенсор.
https://www.youtube.com/watch?v=hrZwKTwS9cs
Дилетанту сложные вещи кажутся очень простыми, и только профессионал понимает насколько сложна самая простая вещь
Кто хочет - ищет возможности, кто не хочет - ищет оправдание.
Найди работу по душе и тебе не придется работать.
aftaev
Зачётный участник
Зачётный участник
 
Сообщения: 26375
Зарегистрирован: 04 апр 2010, 19:22
Откуда: Казахстан. Шымкент
Репутация: 4081
Медальки:

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Сообщение CybSys » 03 сен 2017, 22:34

Двойной сенсор - это как? А то из видео мало что понял. Цифры прибор показывает не многим лучше моего кривенького прибора на ардуино, и то надо прошивку допилить...
Аватара пользователя
CybSys
Мастер
 
Сообщения: 231
Зарегистрирован: 07 июн 2013, 10:02
Репутация: 47
Медальки:

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Сообщение aftaev » 03 сен 2017, 22:55

Вакуум измерять одним прибором, это как штангельциркулем измерять от микронов до километра. У каждого прибора свой диапазон.
Вот там два сенсора Пирани и пьезо. Каждый измеряет свой диапазон. Стр. 25 http://www.teledyne-hi.com/resourcecent ... Manual.pdf
То что ты собрал на Ардуино, это Пирани https://en.wikipedia.org/wiki/Pirani_gauge.

Есть такие датчики которые если включить на воздухе - они сдохнут. Потому вакуумметры включают их по очереди. Когда откачали атмосферу до заданного предела, вакуумметр включает другой сенсор и так ступеньками.
Дилетанту сложные вещи кажутся очень простыми, и только профессионал понимает насколько сложна самая простая вещь
Кто хочет - ищет возможности, кто не хочет - ищет оправдание.
Найди работу по душе и тебе не придется работать.
aftaev
Зачётный участник
Зачётный участник
 
Сообщения: 26375
Зарегистрирован: 04 апр 2010, 19:22
Откуда: Казахстан. Шымкент
Репутация: 4081
Медальки:

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Сообщение CybSys » 03 сен 2017, 23:38

аааа, ну понятно, до низкого вакуума измеряем например ПМТ-2, а средний уже другой лампой.
В принципе это припоминаю из из курса по Технике Высокого Вакуума (ТВВ) :)
Многих нюансов конечно же не помню...
Аватара пользователя
CybSys
Мастер
 
Сообщения: 231
Зарегистрирован: 07 июн 2013, 10:02
Репутация: 47
Медальки:

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Сообщение Q-starь » 04 сен 2017, 08:17

Ну чо нагородили та! Пирани - это как раз ПМТ-6-3 а ПМТ-2 ( 4 ) - это термопарный, а включать на атмосфере нельзя ПМИ-2 ( 51 ), хотя ПМИ-51 терпит деревянного оператора, который забывает отключить вакуумметр перед напуском атмосферы, правда не долго. Есть ещё ПМИ-10-2, но она для магнетрона бестолковая, штоли, короче , не прижилась у нас, да и фик их найдёшь.
Для победы важен не размер собаки в драке, а размер драки в собаке!
Изображение
Аватара пользователя
Q-starь
Мастер
 
Сообщения: 228
Зарегистрирован: 04 апр 2011, 16:50
Откуда: Казахстан
Репутация: 59
Настоящее имя: Ген

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Сообщение CybSys » 11 сен 2017, 20:23

Вакуумметр оформил в статью:

https://geektimes.ru/post/292839/
Аватара пользователя
CybSys
Мастер
 
Сообщения: 231
Зарегистрирован: 07 июн 2013, 10:02
Репутация: 47
Медальки:

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Сообщение Q-starь » 12 сен 2017, 07:04

CybSys, из описалова не понял как лампу калибровали. Регулировать ток накала - это понятно, значение тока от келева взяли? У этого типа ламп разброс от 70 до 150 мА ( у меня на практике было от 90 до 130 это точно ) к тому же при старении лампы ток убегает и довольно сильно, я раз в полгода лампы перекалибровавал. Если на лампе с рабочим током в 90 поставить 130 - она реально будет килограммы показывать.
А за вакуумметр несомненный плюсик.
Для победы важен не размер собаки в драке, а размер драки в собаке!
Изображение
Аватара пользователя
Q-starь
Мастер
 
Сообщения: 228
Зарегистрирован: 04 апр 2011, 16:50
Откуда: Казахстан
Репутация: 59
Настоящее имя: Ген

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Сообщение N1X » 12 сен 2017, 09:41

CybSys писал(а):Вакуумметр оформил в статью

Ксати, вот из статьи:
Так как регулятор при наименьшем своем значении напряжения давал сильно большое значение по току, то и пришлось использовать резистор.

А почему не нормальный источник тока?
Аватара пользователя
N1X
Мастер
 
Сообщения: 2259
Зарегистрирован: 16 фев 2015, 21:19
Откуда: Беларусь, Гомель
Репутация: 1100
Настоящее имя: Владимир

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Сообщение CybSys » 13 сен 2017, 09:53

Q-starь писал(а):CybSys, из описалова не понял как лампу калибровали. Регулировать ток накала - это понятно, значение тока от келева взяли? У этого типа ламп разброс от 70 до 150 мА ( у меня на практике было от 90 до 130 это точно ) к тому же при старении лампы ток убегает и довольно сильно, я раз в полгода лампы перекалибровавал. Если на лампе с рабочим током в 90 поставить 130 - она реально будет килограммы показывать.
А за вакуумметр несомненный плюсик.


Спасибо!
Лампа ПМТ-2 достаточно грубый измеритель давления... Заточены под ВИТ. Калибруется в запаянном состоянии. Ток накала подбирается по шкале ВИТ - 100 делений - ток накала.
После лампа отпаивается (срезается, она как ампула), пииваривается в вакуумную систему.
Аватара пользователя
CybSys
Мастер
 
Сообщения: 231
Зарегистрирован: 07 июн 2013, 10:02
Репутация: 47
Медальки:

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Сообщение Q-starь » 13 сен 2017, 10:33

CybSys писал(а):Спасибо!
Лампа ПМТ-2 достаточно грубый измеритель давления... Заточены под ВИТ. Калибруется в запаянном состоянии. Ток накала подбирается по шкале ВИТ - 100 делений - ток накала.
После лампа отпаивается (срезается, она как ампула), пииваривается в вакуумную систему.

Паспортные 30% это для вакуума этих степеней не очень грубо, а вот то что она очень инерционная это большой минус, особенно в течеисканиях и аварийных ситуациях - пока оператор поймёт что что то происходит - уже тю-тю. Лично для меня Пирани предпочтительнее, это если ПМИ нет.
По калибровке - всё верно, опять же повторюсь - ПМТ сильно дрейфует от выработки и грязи, надо перекалибровывать.
Для победы важен не размер собаки в драке, а размер драки в собаке!
Изображение
Аватара пользователя
Q-starь
Мастер
 
Сообщения: 228
Зарегистрирован: 04 апр 2011, 16:50
Откуда: Казахстан
Репутация: 59
Настоящее имя: Ген

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Сообщение aftaev » 13 сен 2017, 11:36

Q-starь, в Атырау есть вакуумные установки?
Дилетанту сложные вещи кажутся очень простыми, и только профессионал понимает насколько сложна самая простая вещь
Кто хочет - ищет возможности, кто не хочет - ищет оправдание.
Найди работу по душе и тебе не придется работать.
aftaev
Зачётный участник
Зачётный участник
 
Сообщения: 26375
Зарегистрирован: 04 апр 2010, 19:22
Откуда: Казахстан. Шымкент
Репутация: 4081
Медальки:

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Сообщение Q-starь » 13 сен 2017, 15:44

aftaev, а хто ево знает, я там ни разу не был.
Для победы важен не размер собаки в драке, а размер драки в собаке!
Изображение
Аватара пользователя
Q-starь
Мастер
 
Сообщения: 228
Зарегистрирован: 04 апр 2011, 16:50
Откуда: Казахстан
Репутация: 59
Настоящее имя: Ген

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Сообщение CybSys » 06 окт 2017, 01:15

Раз уж тут тема про плазму, то может кому то будет интересны небольшие опыты с высоковольтными электрическими разрядами (в основном горит тлеющий разряд):



Аватара пользователя
CybSys
Мастер
 
Сообщения: 231
Зарегистрирован: 07 июн 2013, 10:02
Репутация: 47
Медальки:

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Сообщение UAVpilot » 06 окт 2017, 01:34

1. Робот не может ответить отказом на предложение человека выпить или своим бездействием допустить, чтобы человек напился один.
Аватара пользователя
UAVpilot
Мастер
 
Сообщения: 14613
Зарегистрирован: 17 апр 2012, 14:58
Откуда: Москва
Репутация: 3506
Медальки:
Настоящее имя: Сергей

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Сообщение N1X » 06 окт 2017, 07:08

В воздухе ВЧ дуга так же горит, так "если не видно разницы..." :)
Аватара пользователя
N1X
Мастер
 
Сообщения: 2259
Зарегистрирован: 16 фев 2015, 21:19
Откуда: Беларусь, Гомель
Репутация: 1100
Настоящее имя: Владимир

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Сообщение CybSys » 06 окт 2017, 20:08

UAVpilot писал(а):http://www.cnc-club.ru/forum/viewtopic.php?f=30&t=16350&p=372904#p372904 :yawn:

Прошу прощения за тавтологию, второй ролик уже выкладывал :wik:

N1X писал(а):В воздухе ВЧ дуга так же горит, так "если не видно разницы..." :)

На глаз много чего не видно, это же научные эксперименты... разряды изучаются, развивается их применимость и т.д. помимо сварки, резки и магнетронного напыление, существует очень большой круг применения плазмы и разрядов, разновидностей которой так же очень много, и дуговой разряд один из них, но далеко не основной...
Аватара пользователя
CybSys
Мастер
 
Сообщения: 231
Зарегистрирован: 07 июн 2013, 10:02
Репутация: 47
Медальки:

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Сообщение aftaev » 06 окт 2017, 20:11

CybSys, скажи проще - когда термоядерный синтез сделаешь уже?
Дилетанту сложные вещи кажутся очень простыми, и только профессионал понимает насколько сложна самая простая вещь
Кто хочет - ищет возможности, кто не хочет - ищет оправдание.
Найди работу по душе и тебе не придется работать.
aftaev
Зачётный участник
Зачётный участник
 
Сообщения: 26375
Зарегистрирован: 04 апр 2010, 19:22
Откуда: Казахстан. Шымкент
Репутация: 4081
Медальки:

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Сообщение CybSys » 06 окт 2017, 23:04

:D :D :D
Термоядерный синтез немного не в нашей области изучения, так как это высоко энергетическая система создающая высочайшие температуры. Мы же создаем, изучаем, применяем низкотемпературную плазму (тлеющий разряд - собственно который мы и получаем генерируя его для магнетронного напыления), электрические характеристики которой не доходят до дугового разряда, название которого все так часто применяют когда видят электрический разряд...
Последний раз редактировалось CybSys 06 окт 2017, 23:07, всего редактировалось 1 раз.
Аватара пользователя
CybSys
Мастер
 
Сообщения: 231
Зарегистрирован: 07 июн 2013, 10:02
Репутация: 47
Медальки:

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Сообщение N1X » 06 окт 2017, 23:06

Ну а че, если видет шнур это уже дуга, не? Или между тлеющим и дуговым есть еще что-то?
Аватара пользователя
N1X
Мастер
 
Сообщения: 2259
Зарегистрирован: 16 фев 2015, 21:19
Откуда: Беларусь, Гомель
Репутация: 1100
Настоящее имя: Владимир

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Сообщение CybSys » 06 окт 2017, 23:12

Какой шнур ведет? :)
После тлеющего идет дуговой, вы правы. Но вот до тлеющего еще есть: искровой, коронный, барьерный и еще несколько, но я в них могу ошибаться так как они "как бы есть, но их нет" :)
Аватара пользователя
CybSys
Мастер
 
Сообщения: 231
Зарегистрирован: 07 июн 2013, 10:02
Репутация: 47
Медальки:

Пред.След.

Вернуться в Прочие станки

Кто сейчас на конференции

Зарегистрированные пользователи: aftaev, aldemm, ansanda, Bing [Bot], bobr22, colosimo, crazydnb, crusider, Dimka_almighty, Dron1974, evgenymcp, geezerprk, Google [Bot], kpankratov, lexaxa89, Majestic-12 [Bot], Malyarka74, mefisto, MGG, neonas, s29, selenur, selsey888, tsurika, UAVpilot, Vasiliy Kuchurin, xarakara, Yahoo [Bot], Yandex [bot], Yarrr, yurayerz, шпиндель

Поделиться

Reputation System ©'