Установка магнетронного напыления пленок металлов

Намоточные, сверлильные, электроэррозионные и другие станки с ЧПУ.

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Сообщение aftaev » 06 май 2017, 09:14

Q-starь писал(а):Это для каких-таких целей?

Вы этим не баловались Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов #16
Азот должен постоянно через камеру прокачиваться и поддерживаться нужное давление.

Q-starь писал(а):Для такой кастрюли 5-ти литрового насоса достаточно,

У нас диаметр что то 500 и высота около 800, там явно не 5 литров ;)
Дилетанту сложные вещи кажутся очень простыми, и только профессионал понимает насколько сложна самая простая вещь
Кто хочет - ищет возможности, кто не хочет - ищет оправдание.
Найди работу по душе и тебе не придется работать.
aftaev
Зачётный участник
Зачётный участник
 
Сообщения: 25731
Зарегистрирован: 04 апр 2010, 19:22
Откуда: Казахстан. Шымкент
Репутация: 3839
Медальки:

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Сообщение Q-starь » 06 май 2017, 12:20

aftaev писал(а):
Q-starь писал(а):Это для каких-таких целей?

Вы этим не баловались Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов #16
Азот должен постоянно через камеру прокачиваться и поддерживаться нужное давление.

Q-starь писал(а):Для такой кастрюли 5-ти литрового насоса достаточно,

У нас диаметр что то 500 и высота около 800, там явно не 5 литров ;)

Эээээээээ, 5 литров это в секунду. Для магнетрона тоже продувка аргоном желательна, и стабильная цифра, правда вакуум повыше.
Камера у вас литров 160. В моей было больше куба, стоял 20-ти литровый - за глаза.
В рукопашной схватке побеждает тот, у кого больше патронов!
Изображение
Аватара пользователя
Q-starь
Опытный
 
Сообщения: 182
Зарегистрирован: 04 апр 2011, 16:50
Откуда: Казахстан
Репутация: 33
Настоящее имя: Евгений

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Сообщение aftaev » 06 май 2017, 19:31

Q-starь писал(а):Эээээээээ, 5 литров это в секунду.

Ну так если сленгами писать, то все и все поймут ;)
Дилетанту сложные вещи кажутся очень простыми, и только профессионал понимает насколько сложна самая простая вещь
Кто хочет - ищет возможности, кто не хочет - ищет оправдание.
Найди работу по душе и тебе не придется работать.
aftaev
Зачётный участник
Зачётный участник
 
Сообщения: 25731
Зарегистрирован: 04 апр 2010, 19:22
Откуда: Казахстан. Шымкент
Репутация: 3839
Медальки:

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Сообщение Q-starь » 07 май 2017, 15:23

aftaev писал(а):
Q-starь писал(а):Эээээээээ, 5 литров это в секунду.

Ну так если сленгами писать, то все и все поймут ;)

Прошу пардона, впредь буду проще, но у вакуумщиков все насосы литрами в секунду меряются, любого типа.
В рукопашной схватке побеждает тот, у кого больше патронов!
Изображение
Аватара пользователя
Q-starь
Опытный
 
Сообщения: 182
Зарегистрирован: 04 апр 2011, 16:50
Откуда: Казахстан
Репутация: 33
Настоящее имя: Евгений

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Сообщение CybSys » 11 май 2017, 23:16

Приборная панель пока будет выглядеть так:
Установка магнетронного напыления пленок металлов IMG_3743[1].JPG

Установка магнетронного напыления пленок металлов IMG_3744[1].JPG

А вот с мишенью какая то фигня... Не могу найти кусочек меди 80х80х3+-1
http://www.IvDetal.ru Полный спектр Механической обработки металлов
http://www.Test-KB.ru Источники питания разряда
http://www.youtube.com/channel/UCbGzBT3_b_VGNjnp0SoJqRQ
Аватара пользователя
CybSys
Мастер
 
Сообщения: 200
Зарегистрирован: 07 июн 2013, 10:02
Репутация: 39

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Сообщение CybSys » 12 май 2017, 11:59

Почти все детали в наличие, остается все связать воедино
Вложения
Установка магнетронного напыления пленок металлов IMG_3745[1].JPG
http://www.IvDetal.ru Полный спектр Механической обработки металлов
http://www.Test-KB.ru Источники питания разряда
http://www.youtube.com/channel/UCbGzBT3_b_VGNjnp0SoJqRQ
Аватара пользователя
CybSys
Мастер
 
Сообщения: 200
Зарегистрирован: 07 июн 2013, 10:02
Репутация: 39

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Сообщение Q-starь » 12 май 2017, 13:01

CybSys писал(а):Почти все детали в наличие, остается все связать воедино

Та круглый стрелка которая справа ваще ни к чему, а слева чо будет мерить?
В рукопашной схватке побеждает тот, у кого больше патронов!
Изображение
Аватара пользователя
Q-starь
Опытный
 
Сообщения: 182
Зарегистрирован: 04 апр 2011, 16:50
Откуда: Казахстан
Репутация: 33
Настоящее имя: Евгений

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Сообщение CybSys » 12 май 2017, 13:56

манометр подключать не буду, вставил для красоты - отверстие закрыть.
а квадратный приборчик - это миллиамперметр
http://www.IvDetal.ru Полный спектр Механической обработки металлов
http://www.Test-KB.ru Источники питания разряда
http://www.youtube.com/channel/UCbGzBT3_b_VGNjnp0SoJqRQ
Аватара пользователя
CybSys
Мастер
 
Сообщения: 200
Зарегистрирован: 07 июн 2013, 10:02
Репутация: 39

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Сообщение Q-starь » 12 май 2017, 14:48

CybSys писал(а):манометр подключать не буду, вставил для красоты - отверстие закрыть.
а квадратный приборчик - это миллиамперметр

Ток чего он будет мерить?
В рукопашной схватке побеждает тот, у кого больше патронов!
Изображение
Аватара пользователя
Q-starь
Опытный
 
Сообщения: 182
Зарегистрирован: 04 апр 2011, 16:50
Откуда: Казахстан
Репутация: 33
Настоящее имя: Евгений

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Сообщение CybSys » 12 май 2017, 15:02

ток плазмы под колпаком, вот только предел измерений маловат...
http://www.IvDetal.ru Полный спектр Механической обработки металлов
http://www.Test-KB.ru Источники питания разряда
http://www.youtube.com/channel/UCbGzBT3_b_VGNjnp0SoJqRQ
Аватара пользователя
CybSys
Мастер
 
Сообщения: 200
Зарегистрирован: 07 июн 2013, 10:02
Репутация: 39

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Сообщение Q-starь » 13 май 2017, 07:02

CybSys писал(а):ток плазмы под колпаком, вот только предел измерений маловат...

Рабочий ток магнетрона имеется в виду? Всегда думал шо приборчик на БП присуцтвует и надо бы шоб цыфравой. И какой БП планируецца? Там требований хватает: стабилизация по току или по мощности смотря какие задачи по плёнке.
В рукопашной схватке побеждает тот, у кого больше патронов!
Изображение
Аватара пользователя
Q-starь
Опытный
 
Сообщения: 182
Зарегистрирован: 04 апр 2011, 16:50
Откуда: Казахстан
Репутация: 33
Настоящее имя: Евгений

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Сообщение CybSys » 19 май 2017, 13:55

Q-starь писал(а):
CybSys писал(а):ток плазмы под колпаком, вот только предел измерений маловат...

Рабочий ток магнетрона имеется в виду? Всегда думал шо приборчик на БП присуцтвует и надо бы шоб цыфравой. И какой БП планируецца? Там требований хватает: стабилизация по току или по мощности смотря какие задачи по плёнке.

Нет, именно ток плазмы.
А блок питания будет вот такой:

http://www.IvDetal.ru Полный спектр Механической обработки металлов
http://www.Test-KB.ru Источники питания разряда
http://www.youtube.com/channel/UCbGzBT3_b_VGNjnp0SoJqRQ
Аватара пользователя
CybSys
Мастер
 
Сообщения: 200
Зарегистрирован: 07 июн 2013, 10:02
Репутация: 39

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Сообщение aftaev » 19 май 2017, 14:26

А мы сделали проще, купили еще одну установку. С БП, магнетроном, ионным источником :)
Установка магнетронного напыления пленок металлов 01.jpg

Установка магнетронного напыления пленок металлов 02.jpg
Дилетанту сложные вещи кажутся очень простыми, и только профессионал понимает насколько сложна самая простая вещь
Кто хочет - ищет возможности, кто не хочет - ищет оправдание.
Найди работу по душе и тебе не придется работать.
aftaev
Зачётный участник
Зачётный участник
 
Сообщения: 25731
Зарегистрирован: 04 апр 2010, 19:22
Откуда: Казахстан. Шымкент
Репутация: 3839
Медальки:

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Сообщение CybSys » 19 май 2017, 21:34

Вы в этом плане правильно поступили, я же в ходе своих научных изысканий занимаюсь/лся высоковольтными источниками питания разряда и вообще низкотемпературными плазменными установками... а для плазмы низкого давления сильно высокое напряжение не нужно...
http://www.IvDetal.ru Полный спектр Механической обработки металлов
http://www.Test-KB.ru Источники питания разряда
http://www.youtube.com/channel/UCbGzBT3_b_VGNjnp0SoJqRQ
Аватара пользователя
CybSys
Мастер
 
Сообщения: 200
Зарегистрирован: 07 июн 2013, 10:02
Репутация: 39

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Сообщение Q-starь » 20 май 2017, 11:14

Для магнетрона надо около киловольта и стабилизированный регулируемый по току, либо по мощности исходя из задачи, а плазмой чо делать собираетесь? И чья она будет?
В рукопашной схватке побеждает тот, у кого больше патронов!
Изображение
Аватара пользователя
Q-starь
Опытный
 
Сообщения: 182
Зарегистрирован: 04 апр 2011, 16:50
Откуда: Казахстан
Репутация: 33
Настоящее имя: Евгений

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Сообщение donvictorio » 20 май 2017, 16:30

нубский вопрос: как защитить стёклышко на окошке?
или его постоянно менять надо?
Аватара пользователя
donvictorio
Мастер
 
Сообщения: 1767
Зарегистрирован: 11 окт 2012, 16:26
Откуда: Санкт-Петербург
Репутация: 498
Настоящее имя: Виктор

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Сообщение aftaev » 20 май 2017, 18:11

donvictorio писал(а):как защитить стёклышко на окошке?

от чего?
Дилетанту сложные вещи кажутся очень простыми, и только профессионал понимает насколько сложна самая простая вещь
Кто хочет - ищет возможности, кто не хочет - ищет оправдание.
Найди работу по душе и тебе не придется работать.
aftaev
Зачётный участник
Зачётный участник
 
Сообщения: 25731
Зарегистрирован: 04 апр 2010, 19:22
Откуда: Казахстан. Шымкент
Репутация: 3839
Медальки:

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Сообщение donvictorio » 20 май 2017, 19:06

там же на него попадают частички металла и оно становится непрозрачным? или они как-то хреначат как фонарик и по сторонам не расходятся?
Аватара пользователя
donvictorio
Мастер
 
Сообщения: 1767
Зарегистрирован: 11 окт 2012, 16:26
Откуда: Санкт-Петербург
Репутация: 498
Настоящее имя: Виктор

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Сообщение aftaev » 20 май 2017, 19:26

donvictorio писал(а):там же на него попадают частички металла и оно становится непрозрачным?

Это ты про окошки в нашей установке? Я думал тебе на окошки дома нужно защитить что то :)

donvictorio писал(а):или они как-то хреначат как фонарик и по сторонам не расходятся?

Стекла загаживаются Снимаются и протираются. Брат их чем то отмыл, он у нас главный повелитель химии. Мож в кислоту кинул и металл растворился :)

Мы свою установку вакуумировали, на форнасосе до 26Па дошли. Выключили, через час натекло до 300Па. Через пару дней оторвать купол нельзя было - был вакуум.
Дилетанту сложные вещи кажутся очень простыми, и только профессионал понимает насколько сложна самая простая вещь
Кто хочет - ищет возможности, кто не хочет - ищет оправдание.
Найди работу по душе и тебе не придется работать.
aftaev
Зачётный участник
Зачётный участник
 
Сообщения: 25731
Зарегистрирован: 04 апр 2010, 19:22
Откуда: Казахстан. Шымкент
Репутация: 3839
Медальки:

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Сообщение CybSys » 20 май 2017, 20:54

Q-starь писал(а):Для магнетрона надо около киловольта и стабилизированный регулируемый по току, либо по мощности исходя из задачи, а плазмой чо делать собираетесь? И чья она будет?

Отвечу так:
Чья плазма бывает и что она делает в магнетронном напылении?

Мне бы добиться 100Па под колпаком, но пока померить не чем... думаю скоро и этим вопросом займусь :)
http://www.IvDetal.ru Полный спектр Механической обработки металлов
http://www.Test-KB.ru Источники питания разряда
http://www.youtube.com/channel/UCbGzBT3_b_VGNjnp0SoJqRQ
Аватара пользователя
CybSys
Мастер
 
Сообщения: 200
Зарегистрирован: 07 июн 2013, 10:02
Репутация: 39

Пред.След.

Вернуться в Прочие станки

Кто сейчас на конференции

Зарегистрированные пользователи: Aleksey173, AlexQ, Bing [Bot], Chili, frezeryga, Gidravlic, Glaciuse, Google [Bot], Healbot, Lafayette, NKS, Рома33, roman93, s29, SDAMASK, tims, toxakorzh, tsurika, Ura, Vestas, Yahoo [Bot], Yandex [bot], шпиндель

Поделиться

Reputation System ©'